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不过布尔对乔泽的论文还是很感兴趣的。
显然,他不感兴趣也不行,因为副主编康娜一脸严肃的跟他说道:“布尔,我觉得你应该认真看看乔的那两篇论文。尤其是那篇关于制造光刻机的。”
“光刻机?我没听错吧?你是说那个数学小子发给我们的论文是关于如何制造光刻机的?”
“是的,你完全没有听错,就是关于光刻机的!我不知道该如何形容,但怎么说呢,他的论文在表述上有些含糊,我也发给了一些专家,但这篇论文真的很奇怪……”
布尔有些奇怪的看着自己这位得力副手。
因为这番话显然听起来很没有条理。
很难想象一位严谨的顶级期刊副主编,在做简单表述时,会显得逻辑上有些混乱。
“好了,我知道了,康妮,我建议你先放松一下,不如先去喝杯咖啡?等我先大概把论文看一遍再聊吧。如果你找不到更适合的审稿人,我会想办法的。你知道的,斯坦福大学可是有很多团队在进行相关的研究,比如学院里的高密度弹性电路单片光学微光刻技术,他们肯定会对这篇论文感兴趣。”
布尔·威尔逊直接打断了副主编康妮的话。
“好的,威尔逊先生,那你还是先看论文吧。”
说完,康妮直接扭身走出了主编室。
目送着副主编离开后,布尔才从电脑中调出了乔泽的这篇论文,沉下心开始读了起来。
花费了两个小时,认真的读完了乔泽的论文后,布尔·威尔逊大概明白为什么副主编会失态了。
这论文给他的感觉大概就是,谁看谁都得懵。
照着论文中的遣词造句,说这只是一篇纯粹理论推导的论文吧,偏偏论文给出了很详实的数据做支撑,那一组组数据的确就像实验室里拿出来的一样。还有对这些数据的分析,真的太详实了。
最重要的是,如果这还只是停留在纸面上的机器,谁会无聊到去为一个根本还没有造出实体的机器去开发一套适配的控制系统?
要知道同时控制28束光的控制系统对于稳定性跟精度的要求近乎都是变态级的。
就好像阿斯麦最先进的极紫外光刻机,首先要将高功率二氧化碳激光脉冲经过几面绝对平整的镜片反射后,照射到一个直径仅仅只有30微米的锡滴液靶材上,然后激发出高功率的13.5纳米等离子体,并依靠这些等离子体产生波长为13.5纳米的EUV光源对晶圆进行曝光雕刻。
其控制单元对于精度要求之高可见一斑。
虽然乔泽在论文中的设计,对于仪器精度的要求降低了不少。但这毕竟是光刻机,其功能是将无数的晶体管雕刻在硅晶圆上。对稳定性跟精度的要求摆在那里。
更重要的是,这玩意儿如果是真的话,那么相当于同时二十八台光刻设备同时工作,同时加工生产不同制程不同功能的芯片,而且每条通道还能根据生产需要,对光源进行即时调整。
其生产效率跟生产灵活性,要远远高于目前传统的光刻设备。
真的,读完第一篇论文之后布尔就已经彻底呆住了,他甚至懒得翻开第二篇论文。
想到现行的许多政策,华夏人如果真把这种设备造出来,不需要多,哪怕一年只能生产一台,这也是能直接吊打阿斯麦的存在。而且以华夏的工业储备潜力以及对高端光刻技术的渴望,这玩意真要走出了实验室,一年只生产一台几乎是不可能的。
大概要不了几年,这玩意就会遍地开花。
一旦开花之后,接下来可能发生什么,布尔都不敢往下想了。
这就真的很离谱了。
心神激荡之下,他立刻把康妮副主编又叫进了他的主编办公室。
……
“康妮,这篇论文已经有人审过了吧?告诉我,那些专业人士的意见。”
“是的,威尔逊主编,他们甚至已经用计算机进行了一定程度的推演跟验证,根据目前计算的结果,论文给出的数据真实性在百分之八十以上。还有那套控制系统,尝试用虚拟机进行验证,就是模拟了那些论文描述的元器件,然后使用那套系统进行模拟控制,嗯……怎么说呢……除开操作界面过于简陋之外,最终给出的评估分值很高,不说完美,起码也是优秀。比如系统支持对每条通道进行编程,还能模拟生产效果。”
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