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第六十三章 前沿（第1页）

“波长在200纳米至350纳米的光线被称为深紫外线，目前大多数的研究，多是围绕着深紫外线开展！对于更短波长的紫外线利用，目前还没有明确稳定技术！”

光刻机以光为刃，扮演的角色就好比拍照时的相机。它通过使用光线把设计好的电路图案精准地“拍”到硅片上。极紫外光，由于波长极短，所以能刻画出更小的芯片特征尺寸，因而成了制造7纳米及以下先进制程芯片。

深紫外线在光刻分辨率上的性能，就不如极紫外线，光刻分辨率提升，芯片上可以容纳的晶体管数量就会成倍增加，芯片性能也能大幅跃升。

当然，光源的亮度和稳定性也是必不可缺的！

“我们在通过电磁学原理，电子在周期性磁场中会一边以光速向前飞行，一边左右摆动，这样电子就会向前辐射出光线··普朗克爱因斯坦方程，其光子能量从1025电子伏特到124电子伏特···

放电等离子体技术，通过高压电场作用让气体电离产生等离子体····

适当地选择周期性磁场的强度，就会使得种子激光中的某个谐波成分按照前述方式急剧地自激放大并达到饱和····最终得到稳定亮度的极紫外线光源！”

“按着循序渐进来进展的话，436、365的紫外线光源，193的深紫外线光源···都可以用来做光刻光源的选择，这些光源的分辨率，也是一个逐次上升的进度！”

他们试错成本有限，那就直接一步到位最好的选择，当然，其他光源标准，她也会在制作指导之中，一一普及。他们可以不用，但是理论和技术还是要掌握的。甚至，若是研发出来，未来还有望作为外汇品种。

最好的，拿去赚外汇总有些得不偿失，次几等的产品，才不心疼和泄密！

姜竞株在授课的同时，手上并没有闲着，很快，以示范的方式，经过一连串的精密操作，最终得到了她想要的稳定极紫外线光源。

提前二十年，他们开启对极紫外线的利用，他们的光刻分辨率，没道理提升不上去，芯片问题，将不会再是他们的焦灼，他们将走在国际的前沿。

光刻机的三大关键技术之一的光源问题在这里得到解决，另外两个则是高精度物镜系统和精密仪器制造技术。

但是这恰恰是姜竞株的擅长领域，确定想要的成效，推导出需要达成这个成果所要的架构，再进一步匹配推导出所有的零部件···

时间就像拧紧的发条，在专业辅助的配合下，姜竞株的研发过程，丝滑流畅的推进着。

因为有绝对可靠，且专业的人手协助，姜竞株的精力，不用局限在项目进度跟进上，几位大拿各有分工，整个项目上下协调配合。

有的是有来回奔波的忙碌身影，有的只有讨论研学的积极，却半点儿没有，所谓拖沓、小心思之类的。

这个时候，人的奉献精神，他们的高尚，和爱国之心，是姜竞株由衷佩服的时候，也是后世不少人无法想象的！

单纯的研发环境，全力的配合，在被所有人认为偏僻贫瘠的南海之滨，奇迹在这里酝酿，只待爆发惊艳实践。

一件件精密的零件，从丰老几位国宝级工匠手中诞生，再精密细小，他们都以近乎零误差完成。最关键的光学镜片，都没有困住他们的脚步。

真真做到了丰老对姜竞株的承诺，只要有图纸，再精密的加工，在他们手中，都是举重若轻，完满完成任务！

制取新的光刻胶，实验旋涂工艺，组装一个个精密部件···

当那台精密至极，彰显着科技凝结的深紫外线光刻机呈现在所有人面前的时候，参与研发的众人，无不为它的神采倾倒！

若不是事实摆在他们眼前，每一步组装过程，他们甚至全程参与，每一个精密零部件，他们都有亲自看着大师傅加工，真得有点儿不敢置信，这样先进的尖端设备，就这样被他们制备出来了！

看那工线笔直的外表，再想想那环环相扣，每一步，都代表着理论到工艺的科研结晶，那复杂的运转系统，更是让他们至今还没完全参透其中的细节之处。

哪怕是竞株同志已经毫无保留的阐述，他们自认为，也不算碌碌无为，但是，这里面涉及的理论和工艺，都可以堪称划开一个时代的领先，他们还需要不少时间，才能慢慢吃透全部，目前，只能说是囫囵吞枣的了解整体大构造理论，记得住工艺！

他们敢说，这是世界上最精密的光刻机，没有之一，哪怕是以先进出名的海对面，也没有这样优秀的设备，他们有这个自信！

竞株同志的推导研发能力，让他们的光刻进程，整整甩开对面了一个时代！

接触式曝光技术，跨过国际先进的投影式，以精密的南海激光系统和特殊反射镜，共同作用以生成和传递极紫外线光通过反射镜聚焦，实现了更精准的扫描式曝光技术。

非接触曝光，以掩膜版比光刻图案101的缩小倍率，光束通过刻有电路图案的掩模版，再经过一系列光学镜片缩小，最终将电路图案精准地刻蚀到硅片上···

光刻制程，直接从英寸，跳过微米，拉进到了纳米级的制程，这是千倍以上的提升！

他们可以预测，芯片成品率和良品率，将会呈几何倍提升！

别具一格的双工作台技术，通过两个独立设置的工作台，实现了曝光和上下料操作的并行进行。

当一个工作台在进行曝光操作时，另一个工作台就可以同时进行上下料操作，从而大大缩短了光刻机的停机时间，提高了生产效率。他们的双工作台系统，完全可以满足纳米级精度尺度的产品定制需求！

竞株同志设计的集成电路图如今已经可以肯定，是必然能够达成的，如今，他们已经在竞株同志的带领下，拥有了这项奇迹诞生的条件。

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