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第67章（第1页）

第67章

众人屏住呼吸，目光紧紧地盯着光刻机。

光源开启，一道耀眼的光线瞬间射出。

闪烁探测器在大屏幕上实时展示着光刻机内部光线的变换。

许映雪指着屏幕讲解：“光线经过光学系统的准直、聚焦等处理后照射在掩膜版上，再通过掩膜版将图案投射到晶圆表面的光刻胶上。”

在众人紧张的注视下，图案清晰地投射到晶圆表面的光刻胶上，发生化学反应后，光刻胶图案在晶圆上显现出来。

“成了！”杨方忍不住低呼一声。

其他人也纷纷发出惊叹声。

徐阳却依旧保持冷静：“别急，还有显影这一步。显影液成分是米吐尔、对苯二酚、菲尼酮等，显影能力和速度都好，这一步多半没问题。”

他按下按钮，曝光过后的晶圆被显影液吞没。

由于不同成分在显影液中的溶解度不同，光刻胶上的图案很快在晶圆上清晰地显现出来，7纳米的刻蚀精度纤毫毕现。

杨方激动地跳了起来，高声喊道：“成了！这是龙国的一大步！”

许多人跟着欢呼起来，脸上洋溢着兴奋和自豪。

“就这？”一个头发乱糟糟的科研人员怀疑道，“7纳米？光刻精度肉眼也看不出来啊。”

徐阳泰然自若。

他微微一笑，做了个“请”的手势：“各位随意测试，当然，安全第一。”

一个年轻的科研人员，名叫小邓，弱弱地举起手：“徐…徐顾问，我…我能用我的电子显微镜看看吗？”

“当然可以。”徐阳爽快地答应了。

小邓一路小跑，小心翼翼地捧着他的宝贝电子显微镜回来，仔细地将其安装调试好。他将晶圆放置在显微镜下，开始观察。

随着放大倍数的提高，纳米级别的图形细节逐渐清晰地展现在屏幕上。

小邓瞪大了眼睛，喜出望外：“真的是7纳米！每一个图形的尺寸都完美符合设计要求！”他一边说，一边激动地读出每个图形的尺寸数据。

周围的科研人员纷纷凑上前，一边听着小邓报出的数据，一边与原图案进行对比。

结果完全一致，没有任何偏差。

陆天生抚摸着胡须，沉吟道：“电子显微镜观察毕竟只是局部，不如用AOI系统全面检测一下。”

徐阳点点头：“陆老说的对，AOI系统检测结果会更精确。”

于是，晶圆被送入AOI系统进行全面检测。

几分钟后，检测结果出来了：没有任何缺陷！

小邓兴奋得满脸通红，连忙掏出笔记本记录数据：“我还得拿这块晶圆去用套刻精度测量设备过一下，就是…时间会长一点。”

“去吧，多带几个人帮你。”徐阳吩咐道。

小邓带着几个助手，兴冲冲地离开了。

许映雪环视众人，语气中带着一丝骄傲：“现在，各位都相信我们能做好AI高级芯片了吧？”

陆天生哈哈大笑：“我相信你们这些年轻人！长江后浪推前浪啊！”

“陆老您的功劳也不小啊。”徐阳笑着说道。

陆天生摆摆手：“都是为了国家嘛！好了，大家都辛苦了，接下来，我们去跟留在会议室的几位商讨具体分配任务的问题。”

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