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第47节（第2页）

“你先去吃饭，顺便休息一下。”

秦浩点点头，转身离开。

依旧端坐在椅子上的闫旭东，还在震惊地看着眼前的图纸。

虽然秦浩没有说明，但他很明显能够看出来，虽然这台激光器经过了大改造，但是它与其他部分连接的尺寸是不变的。

也就意味着当它制作出来之后，能够完美地与其他光刻机设备融为一体，届时操作将会更加简便和稳定。

能够在完成大改造的同时，也注意到这些细枝末节，很不简单。

这个小项目的顺利完成，也算是他们与计算科技研究所合作的一个进步，对方现在可是再不停地催促。

他感觉最近老师的白头发都多了不少，估计是烦的。

因为合作的原因，闫旭东嘴里的休息也不过是一个下午，第二天三人就被分配了新的任务。

李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授，因为姜文泽教授接触式这里人手充足，而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段，需要的人手不少，像是其他两人就被分到了投影式实验室。

说来，她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场，就是不知道后面结果如何。

人手是真的缺，她刚到实验室，就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。

可以说，除了光源之外，光刻机的研究当中，镜头就是其最核心的部分，包括物镜和曝光台。

李筠被分到的是物镜观察，她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光，通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后，透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。

物镜可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。

对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。

唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。

负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。

终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。

她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”

说完，她也不等两人回答，转身离开。

于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道：

“那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。”

“没问题。”

李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。

拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。

和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。

之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。

刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。

这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。

于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。

对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。”

“可以。”

李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。

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